全自动光谱椭偏仪(PH-ASE型)把使用者从烦琐的手动调节样品高度和倾斜度工作中解放出来，样品对准是为了保证椭偏仪测量的可重复性和精确性。已获得专利的自动样品对准装置能够显著减少操作失误；能够工作于透明或反射基底；能够进行地貌图测量，包括翘曲晶片。
全自动光谱椭偏仪 - 产品特点
全自动样品校准
高测量速率 < 8秒
消除了全波段范围内的盲点
可测量透明和吸收基底
高测量精度
具有实验数据和模拟数据三维绘图功能
友好的软件界面，强大数据分析功能
具有实验数据和模拟数据三维绘图功能
光谱椭偏仪 - 技术指标
光源：氙灯
光斑直径：1-3mm
入射角范围：20°到90°自动控制
波长范围：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°
波长精度：1nm
测量时间: < 8s （取决于测量模式和粗糙度）
入射角度精度：0.01
光谱椭偏仪 - 可选配
CCD线阵列探测元件：200-850nm，350-1000nm
样品显微镜
高稳定性消色差补偿器
透射测量架
XY移动样品台
光谱椭偏仪 - 典型客户
美国，欧洲，亚洲及国内太阳能及半导体客户。