坐标测量机（Coordinate Measuring Machine，简称CMM）是最有代表性的坐标测量仪器。最早的坐标测量机是一个仅仅配备XYZ三轴数显的三维设备。对于谁最先发明坐标测量机一直存在争议。1950年代末，第一台坐标测量设备可能是由意大利DEA(Digital Electronic Automation Spa)公司发明的门式结构并配置刚性测头的测量机。几个月后，苏格兰的Ferranti Metrology(现在的IMS )发明了悬臂测量机，配置数显设备和刚性测头。1959年，Ferranti发明了第一台真正意义上的DCC(Direct Computer Assist) 坐标测量机。这台坐标测量机的发明可以标志着坐标测量机正式走上历史舞台。同样来自英国的LK Tool公司随后发明了第一台桥式坐标测量机，并在过去的数年中成为坐标测量机的标准构架。随着越来越多制造商的加入并对测量机进行改造，悬臂测量机、桥式测量机、龙门测量机、水平臂测量机、门式测量机、活动平台测量机、固定桥式测量机和关节臂测量机都成为坐标测量机的通用构架。
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