扩散型单晶硅是在单晶硅中， 用扩散工艺掺入一定量的杂质，以改变其电学性质和电阻率数值。
改变单晶硅导电类型的杂质，一类是磷、砷、锑， 掺杂后使单晶硅呈现电子型导电(N)型， 另一类是硼、铝、镓，搀杂后使单晶硅呈现空穴型导电(P)型。掺入杂质的数量多少与单晶硅电阻率的高低有直接关系。
单晶硅是一种重要的半导体材料， 它是由多晶硅拉制而成的，过去多用来做晶体管、整流器及太阳能电池等。
随着电子技术的进步， 近些年来， 国内外已研制成功压阻应变元件扩散型单晶硅，并获得应用。
扩散型单晶硅是在单晶硅中， 用扩散工艺掺入一定量的杂质，以改变其电学性质和电阻率数值。改变单晶硅导电类型的杂质，一类是磷、砷、锑， 掺杂后使单晶硅呈现电子型导电(N)型， 另一类是硼、铝、镓，搀杂后使单晶硅呈现空穴型导电(P)型。掺入杂质的数量多少与单晶硅电阻率的高低有直接关系。根据下式可以求出所需要的电阻率：
扩散型单晶硅是压阻式的应变元件，也可以说是一种固体硅电阻器， 其电阻变化与所承受的机械应力成正比， 将它与悬臂梁机械地联在一起并形成惠斯登电桥，可产生同振动运动成正比的电信号。这一性能的取得给科学技术某些领域创造了新的应用条件。
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