本文参考了国内各充气柜生产企业生产过程的实践经验，简要的介绍了抽真空、N2干燥、充SF6气体、检漏、检微水的整个过程；
第一步：抽真空
该过程的作用是将罐体（柜体）内空气抽出，抽真空的目的是抽出空气，降低水分；
要求极限真空度10Pa,采用的设备是抽真空补气装置（抽真空补气小车）或者直接是SF6回收装置进行抽真空操作，该设备配置的主要技术参数是：
1、 极限真空度
2、 抽速
KSCZ-16 抽真空补气装置
对于高压和超高压设备，为降低柜体内微水量，可采用继续保压6-10小时继续抽真空，来降低微水值；
KSLH-12Q/15/350 SF6回收净化装置
第二步：N2干燥
通过反复充入干燥N2进行干燥，并通过测试微水是否合格；
N2充气管路
第三步：
充气，充入SF6气体，一般该过程可直接采用整罐的SF6纯气，通过减压阀设定进行充气；也可以通过SF6抽真空小车或SF6回收装置进行充气；
第四步：测量柜体内SF6纯度和微水
一般SF6纯气灌入柜体后，要静置数小时，然后进行微水和纯度检测；
检测工具：微水仪和纯度仪
对于SF6纯度应不低于99.9%，微水值一般不大于150PPM.但是对于SF6断路器和其他部件，有不同的规定，企业也可制定相应的企业标准；
对于微水不合格柜体，应进行SF6回收和重新干燥和再次充气；
KST-型智能微水仪
第五步：检漏（密封试验）
密封试验是通过检测SF6气体的泄漏量，来判定气室的年漏气率是否合格，控制标准是每一独立气室的年漏气率不大于0.5％；《电气设备交接试验标准》条文说明中提出两种试验方法和控制标准：
1、采用灵敏度不低于l×10-6（体积比）的检漏仪对气室密封部分、管道接头等处进行检测时SF6检漏仪未发生报警认为合格。
使用LF-300 SF6定量检漏仪进行接触法检漏
2、采用局部包扎法，待24h后检测每个包扎腔内 SF6含量不大于30 ppm（体积比）即为合格。
目前采用第二种试验方法较为准确，其实施程序是：抽真空检验SF6气体泄漏检验。具体过程为：在GIS经真空检漏并静止SF6气体5 h后，用塑料薄膜在法兰接口等处包扎，再过24h后进行检测，如果有一处薄膜内SF6气体的浓度大于30 ppm，则该气室漏气率不合格。如果所有包扎薄膜内SF6气体的浓度均小于30ppm，则认为该气室漏气率合格。
局部包扎法检漏
整体包扎法
《电力设备交接和预防性实验规程》国家电网公司
DL/T596 GB 50150-2006
密封试验的注意事项：
1、保持生产环境的干净
如果生产环境的sf6气体浓度高于或等于我们合格的警示线，如何判断？
保持检测现场环境干净，非常重要，一般要低于1PPM;
如何保持环境要求：车间底部通风，强制排风；
不在测试车间进行气体灌装;
3、 选择合适的检漏仪器
建议推荐高灵敏度、高重复性、高稳定性，使用维护成本低，性价比最好的SF6定量检漏仪推荐LF-1D+
漏气量的计算:
G=(k/Δt)*v*ρ*t (克) (1)
式中:k=测得的浓度值(体积比);
V=测试体积(升),等于罩子体积减去被测部分对象的体积,即v=v罩-v被测对象
要注意这个v被测对象,,在部分包扎时,这个被测对象仅是被包扎部分体积;
ρ=sf6的密度(6.14克/升) (2)
t=被测对象的工作时间(小时),如 求一年之中的漏气量,则t=365*24=8760小时
Δt=测量的间隔时间,如包扎后24小时进行检测,则Δt=24小时
漏气率的计算
M=(g/Q)*100/%
式中Q=设备或者容器中充入的sf6气体的总重量(克)
例:测量一组110千伏sf6组合电器出线回路的漏率
已知:罩子容积V罩=29.0m3 出线回路体积V被测对象=6.5 m3, 充入sf6气体120Kg
Δt=3.5小时, ρ=sf6的密度(6.14克/升) 被测的浓度k=2*10-5
求年漏率M
解:V= V罩=29.0m3-6.5 m3=22.5 m3=22500升,代入(1)
g=(2*10-5*22500*6.14*24*365)/3.5=6915克
由(2)式得:
M=6915/(120*1000)*100%=5.76%
第六步：SF6回收
在密封试验或微水测试不合格等情况下，必须将SF6回收处理，不得进行自然排放；
回收使用设备：SF6回收装置
回收装置选用主要考虑采用液态储存和回收速度、储存容量；
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