实现洁净度要求的通风措施
洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言,主要有以下几项具体措施 [1] :
(1) 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此,必须选用高效或亚高效过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行最后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,必须使空气先经中效过滤器进行过滤。
(2) 根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。
(3) 有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。
(4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。
洁净室气流组织考虑原则
(1) 当产品要求洁净度为100级时,选用层流流型;当产品要求洁净度为1000~100000级时,选用乱流流型。
(2) 减少涡流,避免把工作区以外的污染物带入工作区。
(3) 为了防止灰尘的二次飞扬,气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。
(4) 工作区的气流应均匀,流速必须满足工艺和卫生的要求;洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来,使污染物在扩散之前便流向回风口。
(5) 工作设备布置时要留有一定的间隔,为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件:气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。
(6) 洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时,宜将其置于工作区气流的上风侧,以提高室内的空气洁净度。
(7) 洁净室内有通风柜时,宜置于工作区气流的下风侧,以减少对室内的污染。 [2]
洁净室是任何给定的容纳空间,其中规定减少微粒污染并控制其他环境参数,例如温度,湿度和压力。关键部件是高效微粒空气(HEPA)过滤器,用于捕获0.3微米和更大尺寸的颗粒。输送到洁净室的所有空气都通过HEPA过滤器,在某些需要严格清洁性能的情况下,使用超低颗粒空气(ULPA)过滤器。
选择在洁净室工作的人员接受污染控制理论的广泛培训。他们通过气闸,空气淋浴和/或更衣室进入和离开洁净室,他们必须穿着特殊的衣服,以捕捉皮肤和身体自然产生的污染物。
根据房间的分类或功能,人员的衣服可能与实验室外套和发网一样有限,或者与多层兔子套装完全包裹在一起,并配有自给式呼吸器。
洁净室服装用于防止物质从穿着者的身体上脱落并污染环境。洁净室衣物本身不得释放颗粒或纤维,以防止人员污染环境。这种类型的人员污染会降低半导体和制药行业的产品性能,并且例如可能导致医务人员和医疗保健行业的患者之间的交叉感染。
风管的搬运、安装是确保洁净度的关键
3.1 安装前的准备。净化空调系统安装前必须按照洁净室主要施工程序制定进度计划,计划必须与其他专业相协调,并且应严格按照计划实施。净化空调系统安装首先必须在建筑专业(包括地面、墙面、楼板)油漆、吸声、高架地板等方面完成后进行。安装前在室内完成风管定位、吊点安装等工作,并对吊点安装时损坏的墙壁面、楼板进行补漆处理。
3.2 室内清洁后,将系统风管运入。风管搬运过程中应注意封头的保护,风管进入现场前应进行表面清洁工作。
3.3 参加安装的工作人员需经吹淋后,穿戴无尘衣、口罩、鞋套才可进行施工。使用的工具、材料、部件要进行酒精擦洗,无尘纸检查,符合要求后方可进入施工现场。
3.4 风管管件、部件连接应边打开封头边连接,风管内做到无油污,法兰垫料应为不易老化有弹性强度的材料,并且不得直缝拼接。安装后开口末端仍要保持封口状态。
3.5 风管保温应在系统管路安装及漏风检测合格后进行,保温完成后室内必须做到彻底打扫干净。