实现洁净度要求的通风措施
洁净室要达到洁净等级，必须有综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言，主要有以下几项具体措施 [1] ：
（1） 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此，必须选用高效或亚高效过滤器（洁净级别低时）作为终端过滤器，对进入洁净室的空气，进行最后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命，必须使空气先经中效过滤器进行过滤。
（2） 根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型，在工作区应避免涡流区；尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区；气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。
（3） 有足够的风量，既为了稀释空气的含尘浓度，又保证有稳定的气流流型。
（4）不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。
洁净室气流组织考虑原则
（1） 当产品要求洁净度为100级时，选用层流流型；当产品要求洁净度为1000~100000级时，选用乱流流型。
（2） 减少涡流，避免把工作区以外的污染物带入工作区。
（3） 为了防止灰尘的二次飞扬，气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。
（4） 工作区的气流应均匀，流速必须满足工艺和卫生的要求；洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来，使污染物在扩散之前便流向回风口。
（5） 工作设备布置时要留有一定的间隔，为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件：气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。
（6） 洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时，宜将其置于工作区气流的上风侧，以提高室内的空气洁净度。
（7） 洁净室内有通风柜时，宜置于工作区气流的下风侧，以减少对室内的污染。 [2]
洁净室是任何给定的容纳空间，其中规定减少微粒污染并控制其他环境参数，例如温度，湿度和压力。关键部件是高效微粒空气（HEPA）过滤器，用于捕获0.3微米和更大尺寸的颗粒。输送到洁净室的所有空气都通过HEPA过滤器，在某些需要严格清洁性能的情况下，使用超低颗粒空气（ULPA）过滤器。
选择在洁净室工作的人员接受污染控制理论的广泛培训。他们通过气闸，空气淋浴和/或更衣室进入和离开洁净室，他们必须穿着特殊的衣服，以捕捉皮肤和身体自然产生的污染物。
根据房间的分类或功能，人员的衣服可能与实验室外套和发网一样有限，或者与多层兔子套装完全包裹在一起，并配有自给式呼吸器。
洁净室服装用于防止物质从穿着者的身体上脱落并污染环境。洁净室衣物本身不得释放颗粒或纤维，以防止人员污染环境。这种类型的人员污染会降低半导体和制药行业的产品性能，并且例如可能导致医务人员和医疗保健行业的患者之间的交叉感染。
过滤器
过滤器的基本知识
过滤器是洁净室的主要净化设备，是空气净化的主要手段。因此，对于从事洁净室设计、建造和维护管理人员了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。
1.过滤器的分类
按过滤器的性能（效率、阻力、容尘量）来划分，通常将其划分成粗效、中效、高中效、亚高效、高效（HEPA）和超高效（ULPA）六类过滤器。
我国国家标准《空气过滤器》GB/T14295-93中将不同过滤器的效率和阻力规定如下：
国家标准《高效空气过滤器》GB13554-92中规定将高效过滤器按性能划分为A、B、C、D四类。D类又通称为超高效过滤器（或称为0.1μm高效过滤器或超低透过率过滤器）。