实现洁净度要求的通风措施
洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。就空气洁净而言,主要有以下几项具体措施 [1] :
(1) 对洁净室的送风必须是有很高洁净度的空气。因此,必须选用高效或亚高效过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行最后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,必须使空气先经中效过滤器进行过滤。
(2) 根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。
(3) 有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。
(4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持一定的正压值。
洁净室气流组织考虑原则
(1) 当产品要求洁净度为100级时,选用层流流型;当产品要求洁净度为1000~100000级时,选用乱流流型。
(2) 减少涡流,避免把工作区以外的污染物带入工作区。
(3) 为了防止灰尘的二次飞扬,气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。
(4) 工作区的气流应均匀,流速必须满足工艺和卫生的要求;洁净气流应尽可能把工作部位围罩起来,使污染物在扩散之前便流向回风口。
(5) 工作设备布置时要留有一定的间隔,为送、回风口的布置和气流的通畅创造条件:气流组织设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。
(6) 洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时,宜将其置于工作区气流的上风侧,以提高室内的空气洁净度。
(7) 洁净室内有通风柜时,宜置于工作区气流的下风侧,以减少对室内的污染。 [2]
洁净室是任何给定的容纳空间,其中规定减少微粒污染并控制其他环境参数,例如温度,湿度和压力。关键部件是高效微粒空气(HEPA)过滤器,用于捕获0.3微米和更大尺寸的颗粒。输送到洁净室的所有空气都通过HEPA过滤器,在某些需要严格清洁性能的情况下,使用超低颗粒空气(ULPA)过滤器。
选择在洁净室工作的人员接受污染控制理论的广泛培训。他们通过气闸,空气淋浴和/或更衣室进入和离开洁净室,他们必须穿着特殊的衣服,以捕捉皮肤和身体自然产生的污染物。
根据房间的分类或功能,人员的衣服可能与实验室外套和发网一样有限,或者与多层兔子套装完全包裹在一起,并配有自给式呼吸器。
洁净室服装用于防止物质从穿着者的身体上脱落并污染环境。洁净室衣物本身不得释放颗粒或纤维,以防止人员污染环境。这种类型的人员污染会降低半导体和制药行业的产品性能,并且例如可能导致医务人员和医疗保健行业的患者之间的交叉感染。
风淋室
1、概述:风淋室是洁净厂房和装配式洁净室的设备,用于吹除进入净化厂房的人体和携带物品表面附着的尘埃,同时风淋室也起到气闸的作用,防止未经净化的空气进入洁净区域,是进行人体净化和防止外空气污染洁净区的有效设备。
结构:系列风淋室均采用发泡隔热彩色壁板及铝合金构件装备而成,配置离心机风机及初效和高效空气过滤器,具有外型美观、结构紧凑、检修方便、操作简单等特点。
2、原理:风淋室内的空气由风机的作用经初效过滤器进入静压箱,经高效空气过滤器过滤后,洁净空气从风淋室的喷嘴高速喷出,喷嘴角度可调节,可有效地吹除人特或携带物品表面附着的尘埃,吹下的尘埃再回收进入初效空气过滤器,如此循环可以达到风淋的目的。
3、用途及特点:风淋室是操作人员进入洁净室时使用的人身净化装置,它利用高速洁净气流吹淋除掉进入室内人员身上的污物,其喷嘴可调节,以便有效除去人身上的灰尘,并阻止外界污染进入洁净区域。它也可应用于大件货物的吹淋。