洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
洁净室状态有以下三个:
空气洁净室:已经建造完成并可以投入使用的洁净室(设施)。它具备所有有关的服务和功能。但是,在设施内没有操作人员操作的设备。
静态洁净室:各种功能完备、设定安装妥当,可以按照设定使用或正在使用的洁净室(设施),但是设施内没有操作人员。
动态洁净室:处于正常使用的洁净室,服务功能完善,有设备和人员;如果需要,可从事正常的工作。
并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净棚、装配式洁净室、洁净衣柜即属此类。
洁净工作台:等级Class 1~100级。
洁净棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
分析国外试验资料可以认为:
(1) 洁净室内当工作人员穿无菌服时:
静止时的发菌量一般为10-300个/min.人
躯体一般活动时的发菌量为 150-1000个/min.人
快步行走时的发菌量为 900-2500个/min.人
(2) 咳嗽一次一般为 70~700个/ min.人
喷嚏一次一般为 4000~62000个/ min.人
(3) 穿平常衣服时发菌量 3300~62000个/ min.人
(4) 无口罩发菌量:有口罩发菌量 1:7~1:14
(5) 发菌量:发尘量 1:500~1:1000 据国内事例:
(6) 手术中人员发菌量 878个/ min.人
所以,可知洁净室内无菌衣人员的静态发菌量一般不超过300个/ min.人,动态发菌量一般不超过1000个/ min/人,以此作为计算依据是可行的。