大部分洁净室、空气净化工程、净化厂房比如电子净化车间都有严格的恒温、恒湿的要求，不仅对厂房内的温、湿度有严格的要求，而且对温度和相对湿度的波动范围也有严格的要求。因此，在净化空调系统的空气处理上要采取相应的措施。
对于以微生物为控制对象的生物净化车间其重点要控制微生物的产生和传播，因为潮湿和水分是微生物滋生和繁殖的条件，因此水加湿的淋水、湿膜、高压喷雾等方法不能用在生物洁净室中，这类净化工程只能采用干蒸汽加湿和电极(电热)式加湿。
SMT车间无尘车间温湿度标准: 温 度: 24±2℃ 湿 度: 50±10%电子制造业洁净车间温湿度标准:
芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分，由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。需要消除静电，并使人也感觉舒适。一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间（特殊洁净车间有相关温湿度规定）。
其他影响因素：
除了空间和环境要求之外，设计或建造者经常忽略影响恒温恒湿洁净车间合规性的一些因素，导致温度和湿度过高或者洁净度达不到要求。例如，外部气候因素考虑并不全面，不考虑设备耗尽量，不考虑设备产生的热量，导致恒温恒湿洁净车间无法达到恒温标准，设备产生的粉尘量影响恒温恒湿洁净车间的洁净度标准，以及设备产生的水分量不考虑同时有工作人员的数量导致恒温恒湿洁净车间的恒湿标准受到人员散发水分的严重影响。