大部分洁净室、空气净化工程、净化厂房比如电子净化车间都有严格的恒温、恒湿的要求，不仅对厂房内的温、湿度有严格的要求，而且对温度和相对湿度的波动范围也有严格的要求。因此，在净化空调系统的空气处理上要采取相应的措施。
从确保如净化车间内相对湿度的精度而言，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时最好不采用。而采用喷干蒸汽和电热(电极)式加湿的方法，喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此，净化车间选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。
对于以微生物为控制对象的生物净化车间其重点要控制微生物的产生和传播，因为潮湿和水分是微生物滋生和繁殖的条件，因此水加湿的淋水、湿膜、高压喷雾等方法不能用在生物洁净室中，这类净化工程只能采用干蒸汽加湿和电极(电热)式加湿。
其他影响因素：
除了空间和环境要求之外，设计或建造者经常忽略影响恒温恒湿洁净车间合规性的一些因素，导致温度和湿度过高或者洁净度达不到要求。例如，外部气候因素考虑并不全面，不考虑设备耗尽量，不考虑设备产生的热量，导致恒温恒湿洁净车间无法达到恒温标准，设备产生的粉尘量影响恒温恒湿洁净车间的洁净度标准，以及设备产生的水分量不考虑同时有工作人员的数量导致恒温恒湿洁净车间的恒湿标准受到人员散发水分的严重影响。