万级净化车间的洁净度:洁净度10000级cleanliness class 10000(P2万级实验室即ISO7级)即大于等于0.5μm的尘粒数大于35000粒/m3 (35粒/L)到小于等于350000粒/m3(350粒/L);大于等于5μm的尘粒数大于300粒/m3(0.3粒/L)到小于等于3000粒/m3(3粒/L)。
压差及温湿度控制:
1)温度:干盘管系统控制。
2)湿度:空调箱调节通过感测的信号,控制三通阀开度来调节空调箱盘管进水量。
3)正压:空调箱调节,根据静压感测的信号,自动调节空调箱马达变频器的频率,从而调节进入室内的新风量。
净化车间恒温恒湿制热原理,当净化车间温度低于所设定温度两度以上(包括两度)之时,四通换向门阀转换,外机变蒸发器而车间内变冷凝器予车间内制热,如制热量不足时,会接通辅助电加热器给车间内空气加热,接通风机送至空调房间,达到加热目的。
从确保如净化车间内相对湿度的精度而言,上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高,故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时最好不采用。而采用喷干蒸汽和电热(电极)式加湿的方法,喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题,并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中,而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此,净化车间选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。
其他影响因素:
除了空间和环境要求之外,设计或建造者经常忽略影响恒温恒湿洁净车间合规性的一些因素,导致温度和湿度过高或者洁净度达不到要求。例如,外部气候因素考虑并不全面,不考虑设备耗尽量,不考虑设备产生的热量,导致恒温恒湿洁净车间无法达到恒温标准,设备产生的粉尘量影响恒温恒湿洁净车间的洁净度标准,以及设备产生的水分量不考虑同时有工作人员的数量导致恒温恒湿洁净车间的恒湿标准受到人员散发水分的严重影响。