UV光氧催化净化器利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
UV光氧催化净化器的净化步骤：
一、进入催化燃烧装置的有机气体首要经过预处理，除去粉尘、液滴及有害组分，避免催化床层的堵塞和催化剂的中毒。
二、废气进入光氧催化废气净化器反应放出大量的反应热，因此气温度很高，对这部分热量必须。一般首先通过换热器将高温尾气与进口低温气体进行热量交换以减少预热能耗， 剩余热量可采用其他方式进行，在生产装置排出的有机废气温度较高的场合，如漆包线、绝缘材料等烘干温度可达300度以上，有害气体经过高温以后分解高空排放。
三、利用光氧催化废气净化器里面UV灯管与气体的结合，进行废气处理，催化反应才能进行。因此对于低 于起燃温度的进气，必须进行预热使其达到起燃温度。对冷时气必须进行预热，因此打开光氧催化废气净化器以后，要过一段时间进行废气处理，适于连续排气的净化，若废气为间歇排放，每次可把光氧催化废气净化器分段开关，预热器的频繁启动，使能耗大大增加。气体的预热达到一定程度，光氧催化废气净化器就自动停止工作。自然排放。
四、光氧催化废气净化器主要成分是UV灯管，光解板在预热部分，除设置加热装置外，还应保持一定长度的预热区，以使气体温度分布均匀并在使用燃料燃烧加热进口废气时，保证废气安全排出。为防止废气完整的排放，还可以经过过滤棉筛选，在催化反应部分，再过滤一次。废气达标程度在99%。选对产品还得会利用，光氧催化净化器就是利用光催化常温深度反响技能。光催化氧化可在室温下将水、空气和土壤中有机污染物完全氧化成无毒无害的产品，而传统的高温焚烧技能则需求在极高的温度下才可将污染物摧毁，即运用惯例的催化、氧化办法亦需求的高温。从理论上讲，只需半导体吸收的光能不小于其带隙能，就足以激起发生电子和空穴，该半导体就有也许用作光催化剂。