UV光氧净化处理设备利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。当恶臭气体利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。该设备可以利用高能UV光束裂解恶臭气体中的分子键，破坏的，再通过臭氧进行氧化反 应，彻底达到脱臭及杀灭的目的。
工业废气处理技术分为物理、化学、生物等三大类，一般可用单一技术或两种以上技术组合来完成工业废气处理工作。常用的物理法是活碳或水洗，化学法是化学洗涤、焚化，生物法则包括生物洗涤、生物滴滤、生物虑床等。进入21世纪来，在物理法技术上，又研发出了等离子法，以及目前新的高新技术-UV高效光解氧化法和韦伯催化法。
1.吸附法
吸附剂有活炭、硅胶、活白土等。但吸附容量小、会产生二次污染。例如气相活炭是普遍的吸附剂，常使用废气治理中吸附有害物质，可以有效除去烃、氯烃、氧烃（甲醛除外）等气体。这种方法是把有机物吸附在多孔固体表面上而去除工业废气中有害分子，这种方法运行费用高，产生大量的固体废弃物造成二次污染，需要再处理。
2.化学洗涤法
化学洗涤法是通过气-液接触，使气相工业废气成分转移至液相，并借化学剂与工业废气成分的中和、氧化或其它反应去除工业废气中的化学物质。使用范围广，但产生废液会造成二次污染，需要再处理。
3.生物法
生物法是把气相中的有机物传输至液相或固相生物膜，由微生物吸收并把它氧化分解为二氧化碳、水等终产物。生物法分为生物洗涤、生物滴滤、生物滤床法等三种，它们的主要差别在微生物的相态与液体的状态。但只是在处理低浓度、易生物降解的有机气相污染物时才具有其经济，即普适差。
4.直接燃烧法
有机废气直接燃烧装置组成及控制。
第一部分：催化燃烧系统。主要由催燃烧床（由电加热室、催化室和热交换器组成）、阻火器、温度探测器和相应的电动阀门、保温管道组成。主要功能是利用催化燃烧床中电加热器来加热生产线产生的废气，使其中的有机废气在催化剂的作用下于280-300℃左右转化为二氧化碳和水并释放出大量热量。热量通过热交换器对热量再利用。
第二部分：控制系统。主要由PLC电控柜、温度显示仪表、电动阀门执行器及面板模拟流程图等组成，功能是控制工作过程中管道中有关阀门的开关。按工艺条件的要求，控制电加热器启动和停止，控制和指示催化床加热温度、反应温度、气流进口温度和气流出口温度，设备运行过程中异常情况的和自动停机。与总控制系统互给信号，实现互动连接。该治理设备前期投资大，运行成本较高，不适合浓度低、风量大的废气治理，且内部催化剂易中毒。
5.吸附脱附+催化燃烧
有机废气首先通过干过滤，将废气中颗粒状污染物截留去除，然后进入吸附床进行吸附，利用具有大比表面积的活炭有机溶剂吸附在活炭表面，吸附可使有机废气净化效率高达90-95%，本装置采用活炭吸附浓缩、热气流吸附和催化燃烧的组合工艺净化各种有机废气。