现在,随着半导体电子技术的发展,越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级。
FFU层流送风单元模块可连接用,使得FFU广泛应用洁净室,洁净工作台,洁净生产线,组装式洁净室和层流罩等应用场合。
FFU的特点:
1 独特的低振动、低噪音;
2 优异的空气均匀分布性能;
3 风速自动恒定或有级调节;
4 杰出的机械性能和可靠性;
5 过滤效率可达99.999%@0.3um。
FFU的使用优势:
第一、灵活性。因为FFU是自带动力的,它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里,可根据需要,分区控制。而且,随着半导体生产工艺的变化,厂房布局必然要作相应调整,FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松,而且不会带来二次投资。
第二、可再利用性。从理论上讲,一时不用的FFU设备,可以拆下来,密封好,妥善保管,留待下次使用。
第三、负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压,使得送风静压箱相对于洁静厂房负压。这样,静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里,使得密封变得很简单而且安全。
第四、缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装,因为风管在洁净工程中,占掉很大早的建设周期,任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益,选用FFU成为了一种可能。
第五、减少运行成本。虽然在选用FFU时,初期投资要比使用风管通风高,但它在后期运行中,突出的表现出节能、免维护等特点。用大循环减少40%的运行成本。
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☆ 净化设备生产、销售:风淋室、传递窗、洁净工作台、洁净单元(FFU)、高效送风口、初、中、高效过滤器 。