郑州诺泰科技有限公司

四路高温真CVD涂层设备

价格:1688 2019-10-12 09:50:26 889次浏览

产品概述:

四路高温真空CVD设备由滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成

,温度可以达到1200度,极限真空可以达到10-3Pa,供气系统是流量调节可以是质子流量计,可以对多种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。

KJ-T1200-S60K-4C系列快速退火炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率可达100°C/m。为取得最快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的理想炉子。

适用范围:

四路高温真空CVD设备是一种特殊的高真空CVD系统,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、CVD涂层、真空退火用的理想产品。

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