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介质阻挡放电过程中,电子从电场中获得,通过碰撞将转化为污染物分子的内能或动能,这些获得的分子被激发或发生电离形成基团,同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的态氢、臭氧和羟基氧等基团,这些基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从等离子体的基团组成可以看出,等离子体内部富含化学的粒子,如电子、离子、基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高的基团发生反应,终转化为CO2和H2O等物质,从而达到净化废气的目的。