洁净室中的防静电洁净室中由于静电引起的的事故屡有发生,因此洁净室的防静电能力如何已成为评价其质量的一个不可忽视的方面。所谓静电,是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负无尘车间生产工艺对密闭性能有着特殊要求,无尘车间内空间密闭、平面布置曲折、风管交错连通、复合装修材料复杂,有的生产过程中使用易燃易爆物质,一旦发生火灾,热量难于散发,人员不便于疏散,风管大量布置造成火势迅速蔓延,有的无尘车间内部还设有大量的昂贵仪器和设备,易造成重大的人员伤亡和财产损失。
无尘室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室:
⑴天花板系统
包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
⑵空调系统
包括空气舱、过滤器系统、风车等。
⑶隔墙板(Partitional wall)
包括窗户、门。
⑷地板
包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。
⑸照明器具
包括日光灯、黄色灯管等。
⑹无尘室之建筑主体构造
一般是用钢筋或骨水泥,但无论是何种构造,满足如下之条件:
A.不会因温度变化与振动而发生裂痕;
B.不易产生微尘粒子,且很难附着粒子;
C.吸湿性小;
D.为了维持室内之湿度条件,热绝缘性要高。
无尘室在绝大多数情况下,运行中风速越低,过滤器的使用效果越好。主要是因为小粒径粉的扩散作用明显,风速低了,气流在过滤材料中滞留的时间就长一些,粉尘就有更多的机会撞击障碍物,因此过滤效率就高,经验表明,对于过滤器,风速减少一半,粉尘的透过率会降低近一个数量级,风速增加一倍,透过率会增加一个数量级。