真空变压制氧设备，是利用沸石分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，未被吸附的氧气则被富集为产品气输送至氧气储罐。当工作塔吸附氮气、二氧化碳和水等近饱和时，在抽真空的条件下对分子筛进行解吸再生；另一塔则开始工作。两只吸附塔循环进行吸附、均压、解吸、真空等过程，从而连续从空气中制取氧气。
真空变压吸附制氧设备特点：
1、设备自动化程度高，可实现无人操作。
2、能耗比较低。产氧量越大，能耗越低。
3、设备启动时间快，可靠性好，运行成本低。
4、投资省，占地面积少。
5、适合于中大型产量。
设备组成：
鼓风机、真空泵、吸附系统、仪控系统、温控系统、电控系统、氧气增压系统。