热式气体质量流量计是基于热扩散原理而设计的，该仪表采用恒温差法对气体进行准确测量。具有体积小、数字化程度高、安装方便，测量准确等优点。
热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻(RTD)组成。一个是速度传感器RH，一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。当这两个RTD置于被测气体中时，其中传感器RH 被加热，另一个传感器RMG 用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加，气流带走更多热量，传感器RH的温度下降。可以在高温和高压条件下进行流量测量。
热式质量流量计是采用感热式测量，通过分体分子带走的分子质量多少从而来测量流量，因为是用感热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果，不需要额外的温度或压力补偿，就能准确测量出气体的标况流量式质量。
热式气体质量流量计具有如下技术优势：
1、真正的质量流量计，对气体流量测量无需温度和压力补偿，测量方便、准确。可得到气体的质量流量或者标准体积流量。
2、宽量程比，可测量流速高至100Nm/s底至0.2Nm/s的气体，可以用于气体检漏。
3、抗震性能好使用寿命长。传感器无活动部件和压力传感部件，不受震动对测量精度的影响。
4、插入式流量计安装维修简便。在现场条件允许的情况下，可以实现不停产安装和维护。
5、数字化设计。整体数字化电路测量，测量准确、维修方便。
6、采用RS-485通讯，或HART通讯，可以实现工厂自动化、集成化。
应用场合
■公用工程---电﹑气﹑ 水处理的监控
管道的气体；通用系统；沼气；煤气；天然气；液化
气；锅炉预热空气
■石油与天然气工业
能量交换；填井气回收； 燃气计量；气体质量分析；
泄漏气测试；天然气测量；火炬气的监控
■电力行业
燃料系统中气体分配过程中的气体测量；锅炉及辅助
系统中各种气体的测量；燃气炉中气体测量；氢气测
量；电厂高炉的一次风、二次风的测量
■化学行业
烟气循环监测；采样系统中气体流量计量；引风机的
气体流量计量；化肥厂氨气测量；电池工厂各种气体
流量测量
■冶金行业
钢铁厂加气测量；炼铁厂高炉煤气的测量；焦化厂焦
炉煤气的测量；轧钢厂加热炉燃气（高炉煤气、焦化
煤气、天然气等）的测量控制；热处理淬火炉等的氢、
氧、氮等气体的控制
■纸浆与造纸行业
废水处理系统中气体的测量；烟道流量监控；锅炉回
收二次/三次空气；锅炉的燃气和空气送风测量
■食品及医药行业
加工操作中新鲜空气的加入；啤酒厂中的二氧化碳处
理；瓶子消毒器中的热空气的流量；热氧化过程中气
体流量测量；通风系统；锅炉进气﹑废气﹑过程控制
■环保
沼气利用过程中的气体测量；氯气处理过程中氯气气
体测量；污水处理过程中曝气池的气体测量；烟筒烟
道排气监测SO2和NOX的排量
■汽车制造业
工厂设备压缩空气计量测量；压缩空气的泄漏测量；
二氧化碳用量测量。
■半导体、电子行业
工厂设备压缩空气计量测量；压缩空气的泄漏测量。
■机械装备/ 造船
一氧化碳的测量；二氧化碳的测量；天然气测量；压
缩空气测量等