过滤器检漏方法和标准，空气过滤器检漏。
什么是过滤器检漏？
无尘洁净室安装了过滤器，通过对已安装的过滤器进行PAO检漏，以确认过滤器的完整性及其安装的密封性，是后工程验收的一步。
检测材料及仪器
气溶胶发生器（TDA-5C）、气溶胶光度计（TDA-2H）、氮气瓶、PAO。
PAO检漏法
1、测试范围：
对于洁净室系统中所有安装有过滤器的洁净室，包括生产车间、化验室等洁净区内的过滤器，都必须进行现场检查检漏，以严格控制施工及安装的质量。
2、工作原理：
在待检测的过滤器上风侧发生PAO气溶胶作为尘源，在下风侧用光度计进行采样检测，含尘气体经过光度计时产生的散射光经光电效应和线性放大转换为电量，并由微安表快速显示，采集到的空气样品通过光度计的扩散室，由于粒子扩引起灯光强度的差异，经测定这个光强度，光度计便可测得气溶胶的相对浓度，并显示出相对应的数据，我们就可以得到检测结果，PAO检漏法中测得的是过滤器的穿透率，即光度计直接显示穿透率读数。
过滤器的检漏范围：
1、过滤器的滤材；
2、过滤器的滤材与其框架内部的连接位置密封性；
3、过滤器框架的密封垫和过滤器组支撑架之间的密闭性；
4、支撑框架和墙壁或顶棚之间密封性；
检测方法：
1、准备工作：
小心卸下过滤器的散流板，对箱体和框架进行清洁处理，以避免箱体内的积尘对检测产生干扰，再将氮气瓶及相关连接管准备好。
2、气溶胶烟雾的发生：
用外径为1/4的塑料管将气溶胶发生器的惰性气体入口与装有压力调节阀的氮气瓶出口进行密闭性的链接，将气溶胶发生器的喷口与空气净化系统风机柜的中效预留管口用塑料管连接。按“TDA-5C气溶胶发生器”通电加热，使温度达到393.3℃-407.4℃。开启喷嘴调节阀，开启氮气源及其调节阀，调节气溶烟雾的输出量进行检漏。