一、激光器的每日保养
激光器应在每日开机前保养。
1) 激光工作用气体和切割气体的检查：检查激光工作气体的气瓶里
2) 检查冷却水压力保持在3.5～5Bar之间。
3) 检查冷却水的温度，以选用的激光器所要求的水的温度为佳。
4) 检查激光器真空泵内油面高度，若不够，则需添加。
5) 检查激光器油路、水路、气路有无泄漏情况，真空泵、谐振腔各气动元件、管接头是否泄漏。
二、 激光器的每周保养
1) 检查激光器的气体混合单元是否有油、水，若有则及时清
理；检查激光器气体干燥过滤器，若超过1/4颜色变成红色或者白色，则需进行更换，其正常颜色为蓝色。
2) 检查真空泵和罗咨泵的油面高度，若不够，则需添加。
3) 检查冷水机的过滤器是否有杂质。
4) 检查激光器冷却水回路是否有杂质。
5) 检查压缩空气分离器（位于气源单元内）内的冷凝水水位。 检查真空泵油位（位于气源单元下面）。 当泵处于冷态时，油面应在油窗中间线 5mm—0mm之间，需要时再加油。
检查罗茨泵油位
罗茨泵齿轮箱中的油位可通过齿轮箱端面的油窗看见，当泵关掉并且处于冷态时，油位应在玻璃中间线的 5mm—0mm之间，必要时再加型号为HTCL2100油
三、 激光器的每半年保养（或运行2000小时后）
1) 检查激光器激光头冷却水管路是否有腐蚀现象，如果有则要及时处理或者更换管路。
2) 检查激励电源油箱是否漏油。
3) 检查高压电缆线是否有损坏。
4) 检查、清理激光谐振腔内部和所有的镜片，包括前窗镜、尾镜、反射镜等。
5) 激光器内部镜片清理完后，应重新调整激光器的出光模式，直到达到正确的模式为止。
6) 更换真空泵油。
7) 更换罗茨泵油。
8) 仔细旋紧所有螺塞以确保罗茨泵的气密性。
9) 在罗茨泵出气端气体分流排上有一白色塑料塞，清洗此塞，并在其内表面涂上硅脂。 此硅脂的用途是吸附捕捉激光器循环流动气体中的物理杂质。（只可使用无硅高真空 脂，涂得要很薄）。
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