等离子废气净化器又称为低温等离子废气净化器、等离子废气处理设备，等离子废气净化器是一种用应于废气处理的环保设备，具有阻力小，操作简单等特点，等离子废气处理设备广泛适用于工厂各种低浓度的废气处理。
低温等离子废气净化器工作原理是：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使物质转变成或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。
低温等离子废气净化器在发作等离子体的过程中，高频放电所发作的瞬间量可以翻开某些气体分子的化学能，使或无机高分子恶臭化合物分子链分解为单质原子或分子。
等离子体中包含很多的电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，在电场作用下，废气分子处于激发态，当废气分子取得的能量大于其分子键能的结合能时，废气分子的分子键开裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得气体分子。
等离子模块含有一体化体系，装置方便！主要是经过风量大小来选技合理的等离子模块，合作场所及风管收集体系来进行装置，终究到达环保规范。
低温等离子废气净化器采用高压发生器形成低温等离子体，等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。
放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态。等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子，使污染物分子在的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。在平均能量约5eV的大量电子作用下，通过净化器的苯、甲苯、H2S、CS2、SO2等废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、S、CO2等低分子物质，使废气净化。