在整个集成电子无尘车间中，电路的尺寸技术可以说是促进净化的关键点。电子无尘车间的制备方法越先进，芯片尺寸越小。然而，电子无尘车间电路上的颗粒物粒径小约1%～2%，在电子无尘车间中会成为废品，因为金属及类似是电子无尘车间的废品问题之一。
无尘车间空气净化系统分为水平层流、垂直层流和紊流。气流方式的选择参照常规，洁净度主要由单位时间换气次数决定。因此，在确定净化系统的技术参数之前，必须认真考虑无尘车间的工作性质和生产要求。
无尘车间的设计并不像想象的那么简单，它是一个大工程，需要消耗大量的能源，尤其是空调。因此，在设计和施工中，必须注意节能措施、系统和区域划分、风量计算、温度和相对湿度的确定。在该区域，为保证无尘车间的全过程调节，空调箱应根据气候条件选择自动控制装置。另外，空调房设计在无尘车间内。这样既节约了能源，又使气流组织更加合理。
水磨石无尘车间地面，施工质量会失控。金属隔珊通风地面，用于垂直单项流无尘车间作为回风隔栅使用，一般采用多孔板。粘贴性无尘车间地面，有聚氯乙烯软板，聚氯乙烯半硬板等，常用的有板材和卷材形式，具有一定的弹性，耐磨不起尘，易清洗，耐腐蚀，防静电，但整体性差，接缝和粘贴施工质量失控后，影响使用效果，适用于电子、精密制造的一般无尘车间。