采用低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学键结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质内分子浓度及共存的介质成分。
对气态有机污染物的降解机理
有足够的能量来产生自由基，引发一系列复杂的物理、化学反应。由低温等离子体引起的气体有机物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子.分子间的相互结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态有机物中的化学键发生断裂，从而使其降解。
从净化空气效率考虑，我们选择了电晕电流较高化装置采用脉冲电晕放电低温等离子体与吸附技术相结合的原理对有害气体进行消除，其中低温等离子体主要用来去除硫化氢、氨、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、丙酮、尿烷、树脂、等气体及，吸附材料主要用于去除二氧化碳以及臭氧等副产物。净化装置由初滤单元、低温等离子体发生器及过滤单元、风机等设备和部件组成。
吸附净化原理
1、有机废气经过滤器除去固体颗粒物质，由上而下进入吸附罐，有机物被活性炭捕集、吸附并浓缩，净化的空气从罐体下部经主风机排入大气。
2、活性炭净化器净化效率高、温度适应性好、运行成本低，一次性加入填料，可满足较长时间的运行，操作、管理、维护简便
3.活性炭空气净化器可根据用户需求配备自动化控制，包括气体在线分析仪、压力传感器、差压变送器、流量传感器、控制柜等 ，对活性炭空气净化器实施气体在线分析监控、气体超标自动报警、气体流量与压力传送与风机运行自动联锁、自动数字显示等自动化控制装置，可根据使用要求进行手动、半自动和自动控制