无尘室温湿度检测前,洁净空调系统应连续运行24H以上；根据温度和相对湿度的波动范围,应选择足够精度的测试仪表,并经过校验标定合格；测点距地面0.8m,距外墙应大于0.5m,也可以根据恒温区的大小,分别布置在离地面不同高度的几个平面上；根据温湿度波动范围要求,检测易连续进行8-48H,每次读数间隔不大于30min；对有温湿度波动要求的区域,测点应放在送,回风处或具有代表性的地点；对没有恒温要求的房间,温度仅测房间中心一个点即可。
室内照度测定必须在室温已趋稳定,光源输出趋于稳定后进行,对荧光灯必须有100H；测点平面距地面0.85m,按间距1-2m布点,测点距墙面1m,其要求基本与洁净度的测点位置要求相同；照度测定,一般测定除局部照明之外的照明；采用移动式照度计检测。
噪声检测仪器为带倍频程分析仪的声级计,一般情况下只检测A声级的数据,必要时测倍频程声压级；检测点布置,当面积≤50m2时,仅测房间中心一个点,当房间面积较大时,每增加50m2增加一个点,测点距地面1.2m；有条件时,易测量无尘室静态工况的噪声和无尘室的本底噪声。