国内外关于ITO废靶材的资源化利用和无害化处置技术的相关研究较多,主要可分为湿法、火法以及火湿法联合三大类。湿法类主要的提取方式为盐酸浸出,浸出液经氧化法或使用铝粉、锌粉等分离铟锡后再置换得到粗铟,该方法的缺点是铟锡分离率低,氧化锡渣等中含铟约1%~2%,铟直收率﹤97%。
采用蒸馏法进行铟锡的分离及资源化试验,在油浴温度132 ℃左右,蒸馏5 h左右,可得到满意的铟、锡分离效果及理想的铟锡回收率;本试验工艺可得到99.97%纯度的金属铟产品的同时,还可继续生产高品质的副产品五水氯化锡。蒸馏过程初期蒸出的盐酸经冷凝回收后回用至盐酸浸出工序,节约酸碱中和成本的同时实现了清洁生产。
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ITO靶材可应用于以下领域:(1)平板显示器(FPD)产业,如薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)、液晶显示器(LCD)、高触摸屏(TouchPanel)、等离子管显示器(PDP)、有机电致发光显示(OLED)等;(2)光伏产业,如薄膜太阳能电池;功能性玻璃,如红外线反射玻璃、抗紫外线玻璃如幕墙玻璃、飞机、汽车上的防雾挡风玻璃、光罩和玻璃型磁盘等。其中,平板显示器及太阳能电池是其主要应用领域。