国内外关于ITO废靶材的资源化利用和无害化处置技术的相关研究较多，主要可分为湿法、火法以及火湿法联合三大类。湿法类主要的提取方式为盐酸浸出，浸出液经氧化法或使用铝粉、锌粉等分离铟锡后再置换得到粗铟，该方法的缺点是铟锡分离率低，氧化锡渣等中含铟约1%～2%，铟直收率﹤97%。

采用蒸馏法进行铟锡的分离及资源化试验，在油浴温度132 ℃左右，蒸馏5 h左右，可得到满意的铟、锡分离效果及理想的铟锡回收率；本试验工艺可得到99.97%纯度的金属铟产品的同时，还可继续生产高品质的副产品五水氯化锡。蒸馏过程初期蒸出的盐酸经冷凝回收后回用至盐酸浸出工序，节约酸碱中和成本的同时实现了清洁生产。

2017年6月，工信部发布《重点新材料首批次应用示范指导目录（2017年版）》，提出了平板显示用ITO靶材、平板显示用高纯钼靶材等重点新材料的应用领域。伴随ITO技术和产能突破瓶颈，国产ITO靶材凭借成本和性价比优势将逐步占领市场。

ITO靶材生产所消耗的铟锭占全球铟消费总量的70%左右，其它包括电子半导体领域、合金和焊料领域、研究行业。全球预估铟储量仅5万吨，其中可开采部分仅有50%。