中环真空泵丨真空泵真空中环真空泵的薄膜式真空计是利用薄膜片受力产生形变的原理而制成的一种相对式真空计, 也是一种全压强真空计。其特点为精度高, 响应快、稳定可靠、使用方便, 尤其是结构小巧坚固, 材质耐腐蚀, 且能*承受过载运行, 特别适宜于在恶劣环境中工作, 在这些方面比之于压缩式真空计具有明显的优越性, 也完全避免了使用有毒有害的介质。然而, 要采用薄膜真空计替代容积真空泵性能检测用的压缩式真空计必须解决以下三个技术关键。
① 扩展现有薄膜真空计的测量下限。一般而言, 我国现有的薄膜真空计的下限为0.1Pa,为此,必须研制测量下限为0.02Pa以下的低量程薄膜真空计
。
② 消除水、油等可凝性蒸汽的影响, 使薄膜真空计测得的应与压缩式真空测量的同样是*性气体的分压强。
③ 薄膜真空计是一种相对真空计, 由显示仪表输出的是电参量, 为此必须解决真空计的量值校准问题。