超纯水系统是指系统从原水至超纯水完整产生的生产系统。 一般超纯水系统是经由多重过滤，离子交换，除气，逆渗透，紫外线，超滤，纳米率，离子吸附过滤所产生的超纯水。
超纯水初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有、病毒、含氯二恶英等有机物，当然也没有人体所需的矿物质微量元素，超纯水无硬度，口感较甜，又常称为软水，可直接饮用，也可煮沸饮用。超纯水,是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。
超纯水系统组成：标准组件
1、超净过滤器装置，滤筒
2、活性碳，清除无机、有机微量污染的离子交换树脂(核级别)和吸附器树脂
3、过滤器，气孔大小0.2μm
超纯水系统可安装成台式或墙式，组成如下:
1、数字显示外壳
2、低噪声输送、循环泵
3、高纯水抗压减压器
4、塑料螺线管阀，用作自动冲洗阀
5、PVDF 排除活栓、0.2μm过滤器
6、对所有送水零件进行
7、所有送水组件均用聚或高质量天然物质制成
8、除热源
9、UV装置，分解有机物，有效波长185nm/254nm
安装了过滤器装置的TKA高纯水系统生产出的高纯水几乎不含TOC。由于采取了不同的高纯制备措施，因而尽可能减少了有机和无机成分。接线迅速接合，过滤器装置安装非常简单。