1、进入洁净室之前，预先清洁仪器、人员以及零件;
2、用可控的多级压力、温度和湿度控制装置密封建筑;
3、HEPA过滤;
4、增强工艺以减少颗粒/沉淀物的产生;
5、保护性外衣;
6、清洁;
7、双门配置将相邻的空间分开，包括运送和接收区域。
在将关键空间设计为分级的洁净室是合理的。
在比较宽大的汽车组装环境中，从机器人和其它装配设备上散发出来油雾和金属微粒会散布到空气中，精密的机械组件必须清洗和处理。解决这个问题的核心在于设置无尘区或者保护区，把喷漆和重要的生产区域分开，避免交叉污染。控制空气污染物，不能让它进入生产区，例如发动机和传动装置组装区。
按受控粒子的性质划分
（1）工业洁净室：受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。
（2）生物洁净室：受控粒子为生物粒子的洁净室。
一般情况下，净化空调系统的能耗比一般空调系统的能耗大的多。其原因是两者之间的负荷特点不同。就洁净室，尤其是半导体工业洁净室而言，其负荷特点是：由于排风量大造成新风量大，故新风处理所需冷量消耗大；送风量大，输送动力消耗大，风机管道温升高；生产设备的发热量大，消耗冷量大。这三项负荷之和一般占总负荷的70%~95%。因此，净化空调系统节能措施应从减少新风量（减少排风量）；控制送风量（合理确定换气次数）；充分利用回风量；选择低阻力率的空调和净化设备和可变风量的风机等入手。