1、进入洁净室之前，预先清洁仪器、人员以及零件;
2、用可控的多级压力、温度和湿度控制装置密封建筑;
3、HEPA过滤;
4、增强工艺以减少颗粒/沉淀物的产生;
5、保护性外衣;
6、清洁;
7、双门配置将相邻的空间分开，包括运送和接收区域。
在将关键空间设计为分级的洁净室是合理的。
洁净室要达到洁净等级，必须有综合措施，其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本保证。
当产品要求洁净度为100级时，选用层流流型；当产品要求洁净度为1000~100000级时，选用乱流流型。
减少涡流，避免把工作区以外的污染物带入工作区。
为了防止灰尘的二次飞扬，气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。
洁净工作台不宜布置在层流洁净室内。当布置在乱流洁净室时，宜将其置于工作区气流的上风侧，以提高室内的空气洁净度。
洁净室内有通风柜时，宜置于工作区气流的下风侧，以减少对室内的污染。