所谓半导体电子洁净车间，指的是洁净度在10万级标准以上的车间，主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。在绝大多数情况下，无尘车间运行中风速越低，过滤器的使用效果越好。
小粒径粉尘的扩散作用(布朗运动)明显，风速低了，气流在过滤材料中滞留的时间就长一些，粉尘就有更多的机会撞击障碍物，因此过滤效率就高。经验表明，对于过滤器，风速减少一半，粉尘的透过率会降低近一个数量级(效率数值增加一个9)，风速增加一倍，透过率会增加一个数量级(效率降低一个9)。
经测试分析，无尘室的微污染中80%是工作人员带来的。当工作人员进出无尘室时尘埃有显著增加，洁净度立刻劣化。因此在工作人员进入无尘室前要做好清洁擦拭等防尘动作，且企业也要对工作人员进行培训，并制定相应的章程和制度等。
控制粉尘：建造电子无尘车间需要小化粉尘产生和积累的可能性。确保工作表面和设备是光滑、易清洁的，并采取措施减少粉尘扬尘，如使用湿拖抹布、吸尘器等。
静电消除：静电是电子元件的一个主要问题，因此必须采取措施消除静电。使用防静电地板和防静电工作台，并提供适当的静电消除设备，如离子风枪、静电消除器等。