所谓半导体电子洁净车间，指的是洁净度在10万级标准以上的车间，主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。在绝大多数情况下，无尘车间运行中风速越低，过滤器的使用效果越好。
对于过滤器，气流穿过滤材的速度一般在0.01～0.04m/s，在这个范围内，过滤器的阻力与过滤风量呈正比关系。例如，一只484×484×220mm的过滤器，在额定风量1000m3/h下的初阻力为250Pa，如果使用中的实际风量是500m3/h，它的初阻力可降为125Pa。对于空调箱中的一般通风用过滤器，气流穿过滤材的速度在0.13～1.0m/s范围内，阻力与风量不再是线性关系，而是一条上扬的弧线，风量增加30%，阻力可能会增加50%，若过滤器阻力对你来说是个非常重要的参数，你就要向过滤器供应商索要阻力曲线。
经测试分析，无尘室的微污染中80%是工作人员带来的。当工作人员进出无尘室时尘埃有显著增加，洁净度立刻劣化。因此在工作人员进入无尘室前要做好清洁擦拭等防尘动作，且企业也要对工作人员进行培训，并制定相应的章程和制度等。
建造一个合格的电子无尘车间需要考虑多个因素，包括空气过滤、控制粉尘、静电消除、温度和湿度控制以及合适的设备和工作流程。空气过滤：安装的空气过滤系统是建造无尘车间的关键。使用HEPA（颗粒空气）过滤器能够有效地捕捉微小颗粒物，防止灰尘和污染物进入车间。