所谓半导体电子洁净车间，指的是洁净度在10万级标准以上的车间，主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。在绝大多数情况下，无尘车间运行中风速越低，过滤器的使用效果越好。
小粒径粉尘的扩散作用(布朗运动)明显，风速低了，气流在过滤材料中滞留的时间就长一些，粉尘就有更多的机会撞击障碍物，因此过滤效率就高。经验表明，对于过滤器，风速减少一半，粉尘的透过率会降低近一个数量级(效率数值增加一个9)，风速增加一倍，透过率会增加一个数量级(效率降低一个9)。
除了防止微尘进入，无尘室也要设置净化空调系统、水电系统、生产工艺设备等各类设备设施，来确保无尘室内的空气洁净度级别使用符合产品生产工艺的要求。在系统正常运行中，维护也是必不可少的。比如，空气过滤器是否疏通正常、密封垫是否牢固、送风机轴承的运行是否处于正常状态等。每一项都影响了系统的运行，因此不可遗漏。
无尘车间是指在封闭空间范围内将有害空气、、微粒子等污染物排出，并将室内温度、室内压力、气流速度等控制在某一范围内。无尘车间的洁净程度高，空气经过多重净化，温度环境适合工人工作，无尘车间内如果没有辐射物，没有油漆、白电油等释放有害气体的物品，而且送风排风有效，设备管理得当，那么无尘车间对身体一般没有危害。