一种可行的解决方案就是采用电容式方案，来制造微型麦克风。这一方法的优点就是：在集成电路制造工艺中使用的所有材料都可用于传感器的制造。但是采用单芯片工艺制造微麦克风有相当难度，因为在两个电容极板之间的空气介质只能有很小的间隔。而且，由于尺寸的限制，在一些应用场合偏置电压很难满足。基于上述问题，对于电容式麦克风的研究一直没有间断过

20世纪初，麦克风由初通过电阻转换声电发展为电感、电容式转换，大量新的麦克风技术逐渐发展起来，这其中包括铝带动圈等麦克风，以及当前广泛使用的电容麦克风和驻极体麦克风。圈麦克风的工作原理是以人声通过空气使震膜振动，然后在震膜上的电磁线圈绕组和环绕在动圈麦头的磁铁形成磁力场切割，形成微弱的波动电流。电流输送到扩音器，再以相反的过程把波动电流变成声音

指向性

指向性也叫话筒的极性( polar pattern)，它指话筒拾取来自不同方向的声音的能力。一般分全向型、心型、超心型、8字型 [5] 。

全向型(Omnidirectional)也叫无方向型，它对各个方向的声音有相同的灵敏度。心型(Cardioid)属指向型话筒，前端灵敏度强，后端灵敏度弱。超心型(Supercardioid)拾音区域比心型话筒更窄，但后端也会拾取声音。8字型分别从前方和后方拾取声音，但不从侧面(90度角)拾音

有动圈式、电容式、驻极体和近新兴的硅微传声器，此外还有液体传声器和激光传声器。

动圈传声器音质较好，但体积庞大。

驻极体传声器体积小巧，成本低廉，在电话、手机等设备中广泛使用。

硅微麦克风基于CMOSMEMS技术，体积更小。其一致性将比驻极体电容器麦克风的一致性好4倍以上，所以MEMS麦克风特别适合高性价比的麦克风阵列应用，其中，匹配得更好的麦克风将改进声波形成并降低噪声。