真空探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
该探针台的承载台为φ60不锈钢台面，台面可升温到400℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测
真空腔体
型号
KT-Z1604T-RL高低温型 KT-1604TZ高温型
加热台温度
高温型 ：400℃ 高低温型：-190~400℃
腔体材质
304不锈钢
上盖开启
铰链侧开
加热台材质
304不锈钢
内腔体尺寸
φ160x90mm
观察窗尺寸
Φ70mm
加热台尺寸
φ60mm
观察窗热台间距
75mm
加热台温控误差
±0.5℃
真空度
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允许正压
≤0.1MPa
真空抽气口
KF25真空法兰
气体进气口
3mm-6mm卡套接头
电信号接头
SMA转BNC X 4
电学性能
绝缘电阻 ≥4000MΩ介质耐压 ≤500V 电流噪声 ≤10pA/100fA
探针数量
4探针
探针材质
钨针
探针尖
10μm
探针移动平台
X轴移动行程
30mm±15mm
X轴控制精度
≤0.01mm
Y轴移动行程
13mm±12.5mm
Y轴控制精度
≤0.01mm
Z轴移动行程
13mm±12.5mm
Z轴控制精度
≤0.01mm
电子显微镜
显微镜类别
物镜+目镜
物镜倍数
0.7-4.5倍
工作间距
90mm
相机
sony高清
像素
1920※1080像素
图像接口
VGA
LED可调光源
有
显示屏
13寸
放大倍数
19-256倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm