科探标准复合分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、电器控制系统等
技术参数：
控制方式
手动控制/自动控制切换
前级泵接口
KF25（客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵）
分子泵
FF-100/150 51000转/分
分子泵抽气速率
140L/S
分子泵启动时间
≤2min
空载极限压强
≤1X10-4Pa
真空测量方式
冷阴极标准规管
真空测量范围
1E﹢2到1E-5 Pa
真空测量精度
1E-4到1E-5 Pa ±40%的读数 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的读数 重复性：±5%
抽气接口
KF25
阀门类型
KF25手动挡板阀
系统电源
AC220V
系统功率
≤1KW
环境温度
5~32℃
冷却方式
强制风冷却
湿度
≤80%RH
外形尺寸
250 X360 X 300mm （宽-深-高）
重量
25KG
随机配件：KF25高真空挡板阀X1个 KF25卡箍X3个 kf25-1米不锈钢波纹管x1根 说明书X1本 电源线x1根 冷阴极真空计X1个