氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用普瑞公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。
氪分析用氦离子色谱仪参考：GB/T 5829-2006氪气项目
指标
高纯氪
纯氪
一等品
合格品
氪气（Kr）（体积分数）/10-2
≥
99.999
99.995
99.99
氮（N2）（体积分数）（N2）/10-6
≤
2
8
20
氧（O2）+氩（Ar）（体积分数）/10-6
≤
1.5
5
5
氢（H2）（体积分数）/10-6
≤
0.5
1
2
一氧化碳（CO）（体积分数）/10-6
≤
0.3
0.4
1
二氧化碳（CO2）（体积分数）/10-6
≤
0.4
0.8
1
甲烷（CH4）（体积分数）/10-6
≤
0.3
0.8
1
水分（H2O）（体积分数）/10-6
≤
2
3
5
氙气（Xe）（体积分数）/10-6
≤
2
20
50
氟化物（CF4）（体积分数）/10-6
≤
1
10
15