1.准备材料：
《商标使用许可备案表》：可从国家知识产权局商标局官网下载或在商标局注册大厅领取。
许可人和被许可人的身份证明文件（如企业营业执照副本复印件、个人身份证复印件等）。
商标注册证原件及复印件。
商标使用许可合同原件或经公证的复印件。合同内容应包含许可使用的商标信息、许可使用的商品或服务范围、许可使用期限、许可使用方式等明确条款。
如果委托商标代理机构办理，还需提交《商标代理委托书》。
2.提交申请：将准备好的申请材料提交给国家知识产权局商标局。可以通过以下方式提交：
直接到商标局注册大厅办理。
委托商标代理机构办理。
通过商标局官网的网上服务系统在线提交申请（部分地区支持）。
3.形式审查：商标局对申请材料进行形式审查，主要检查申请材料是否齐全、填写是否规范等。如果申请材料存在问题，商标局会通知申请人在规定期限内补正。申请人未在规定期限内补正的，商标局将不予受理其备案申请。
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4.缴纳费用：商标许可备案申请需要缴纳一定的费用，如果委托商标代理机构办理，还需要支付一定的代理费。
5.实质审查：形式审查通过后，商标局进行实质审查，主要审查商标使用许可合同是否符合法律规定，许可使用的商标是否在有效期内，许可使用的商品或服务范围是否与商标注册证上核定的范围一致等。
6.核发备案证明：经审查合格后，商标局会在商标局网站上将该商标的许可备案情况予以公告，公告期为3个月。在公告期内，任何人都可以对该商标的许可备案提出异议。公告期满无异议的，商标局会核发《商标使用许可备案通知书》。
实际的商标许可备案流程可能会因具体情况而有所不同，例如在审查过程中如果遇到问题，可能会需要申请人进一步提供材料或进行说明。如果对商标许可备案流程不熟悉，建议委托专业的商标代理机构办理，以确保备案过程的顺利进行。