青岛福润德微电子设备有限公司

可完全代替进口炉体，优质加热炉丝，进口保温材料，采用国外先进加工工艺，炉体可长期使用在高温下，处理12英寸以下硅片，工作温度200—1300℃。

技术指标：

加热炉丝：瑞典康泰尔高温炉丝

保温材料：英国摩根进口保温棉

绝缘材料：高纯度95瓷拉条绝缘子

使用温度：200℃—1300℃

外 壳：不锈钢板

端 口：优质氧化铝氧化锆

控温段：3段、5段、9段控温

口 径：Φ80mm—Φ500mm

恒温区：根据工艺要求