日照市凯良食品设备有限公司

螺杆真空泵是一种利用一对螺杆在泵壳中作同步高速反向旋转而产生吸气和排气作用的抽气设备，是油封式真空泵的更新换代产品。在半导体芯片外延生长过程中，需要的真空环境来确保外延层的质量和性能在光刻过程中，需要将光刻机中的晶圆置于高真空环境下，以确保光刻胶的均匀涂布、曝光的准确性以及显影的效果可以为刻蚀设备提供稳定的真空源，确保刻蚀气体能够有效地与晶圆表面的材料发生反应，实现的刻蚀