IC 载板电镀加工是半导体封装领域的核心工艺,专为 IC 载板(如 ABF 载板、BT 载板)沉积高精度金属镀层,核心作用是实现芯片与基板的可靠电连接、提升散热与抗腐蚀性能。
关键成本与质量控制点
成本核心:金盐、铜盐等贵金属原料占比高(约占原材料成本的 30%-40%),细线路加工导致的良率损耗会显著推高单位成本。
质量控制:需检测镀层厚度(XRF 检测)、附着力(胶带测试)、耐腐蚀性(盐雾测试),以及线路完整性(AOI 检测)。
面板级加工:扇出型封装常采用面板级封装(FOPLP)方式,如盛美上海的 Ultra ECP ap-p 面板级电镀设备可加工尺寸高达 515x510 毫米的面板,相比传统晶圆级封装,能提高生产效率,降低成本。
高精度要求:需满足高密度互连(HDI)、超细线路 / 焊盘(线宽 / 线距常<20μm)的要求,对镀层均匀性、致密度、附着力、纯度等方面要求,例如铜镀层孔隙率需≤1 个 /cm²。
复杂结构处理:对于埋入式扇出型封装结构,可能存在深宽比较大的通孔,电镀时需要特殊工艺处理,以避免产生空洞等缺陷。
通讯载板电镀加工工艺流程
前处理:包括对载板进行激光钻微导通孔、去钻污等操作,然后用化学镀铜或碳直接金属化工艺等进行初级金属化,形成一层薄的导电晶种层,为后续电镀做准备。
图形电镀:在经过前处理的载板上,通过光刻技术形成图形,然后进行电镀,在线路 / 焊盘区域电镀厚铜,通常厚度在 5-20μm,以实现电流传输与芯片键合支撑。
表面处理电镀:根据需求在载板表面电镀镍、钯、金等镀层,如采用 ENEPIG/ENIG 工艺,提升焊盘的抗氧化性与键合可靠性。
后处理:电镀完成后,进行清洗、烘干等操作,去除表面残留的电镀液和杂质,然后对镀层进行检测,如检测镀层厚度、附着力、孔隙率等,确保产品质量符合要求。

