表面处理:根据应用需求,选择合适的表面处理工艺,如选择性电镀金 + 沉银组合。先全板沉银,再通过干膜掩膜保护,对关键区域进行选择性电镀金。
后处理:包括清洗、烘干、防氧化处理等,如在沉银层表面涂覆一层有机防氧化剂,以延长其储存寿命。
种子层沉积:构建导电基底
采用物相沉积(PVD)或化学镀,在绝缘基材表面沉积超薄导电层(铜或镍)。
种子层厚度控制在 0.1-0.5μm,要求覆盖均匀、无针孔,为后续图形电镀提供稳定导电通道。
沉积后需做简易附着力检测,避免种子层脱落影响后续工艺。
图形转移:定义线路与镀层区域
涂布高精度光刻胶 / 干膜,通过曝光、显影工艺,将线路图形转移到基材表面。
高频高速板对图形精度要求,需控制线宽 / 线距偏差≤±1μm,避免开窗偏移导致镀层错位。
显影后进行检查修正,去除残留胶渣,确保线路区域完全裸露、非线路区域被保护。
去胶与蚀刻:剥离多余金属
用化学脱胶剂或等离子体去除表面光刻胶 / 干膜,露出下方未被电镀覆盖的种子层。
采用微蚀工艺,蚀刻掉多余种子层,仅保留电镀形成的功能线路,控制侧蚀量≤0.5μm。
蚀刻后彻底水洗,避免残留药剂腐蚀镀层或基材。

