电子无尘车间净化工程一个主要方面是对静电的控制：高湿度实际上减小了电子无尘车间、洁净室表面的静电荷积累。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。
在电子行业电子无尘车间是最重要产生静电的地方，通常静电会对产品造成短路甚至会造成员工导电晕倒事故，所以电子无尘车间相对湿度不应低于30%，这样即可以减少静电的产生，通常建议电子无尘车间的防静电区域相对湿度不低于50%。过于干燥的空气中易粉尘飞扬，电子无尘车间无特殊要求的情况下，温度控制在22℃左右，相对湿度控制在55～60%RH之间，在这种环境下，人们感觉舒适，静电也消失了。