臭氧专用制氧机是采用变压吸附(PSA)原理，使用空气为原料制造氧气，工作原理是利用分子筛对空气中氧、氮在一定压力下的不同吸附能力，即加压氮气吸附、减压排出氮气。装置采用双塔循环，达到连续从空气中分离氧气的目的。
本设备由空压机、空气缓冲罐、空气处理系统、制氧主机及氧气缓冲罐五个部分组成。其工艺过程是原料空气经过除尘在空压机中压缩到0.3~0.6MPa，然后经冷却器冷却后进入吸附塔，空气经分子筛吸附后，从吸附塔顶排出，一部分做为产品气另一部分用于另一吸附器再生清洗。
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